| 椭偏法细丝在线监测系统设计及数据分析 |
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| 引用本文： | 张小绵,赵志超. 椭偏法细丝在线监测系统设计及数据分析[J]. 中南大学学报(自然科学版), 2001, 32(6): 640-643 |
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| 作者姓名： | 张小绵 赵志超 |
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| 作者单位： | 1. 深圳大学信息工程学院,
2. 深圳大学理学院, |
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| 基金项目： | 深圳市科研基金资助项目(ZZD200012) |
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| 摘 要： | 椭圆偏振测量是一种具有原子层级灵敏度的无破坏性光学测量技术.作者论证了当入射光波长λ及入射光偏振态确定时,对应于半径为R的细丝,其衍射光强不仅与散射角φ有关,而且与散射场光强分布表现为m阶序列傅里叶变换的序列阶数m有关,因而选择φ和m为测量参数;测量系统在连续采样的每一步进中密集采样,采用对同一数据点进行重复测量取均值的方法提高采样精度;为了提高信噪比,对采样数据用曲线拟合最小二乘法进行二次滤波;对实测数据进行分析,结果表明偏振散射特征及其对散射光场强度分布的影响与散射光在传播过程中偏振度的径向分布有关.
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| 关 键 词： | 在线监测 数据采集 椭偏分析 偏振化方向 衍射图形 数字滤波 |
| 文章编号： | 1005-9792(2001)06-0640-04 |
| 修稿时间： | 2001-03-21 |
Ellipsometry design and data analysis of the monitoring system of thin wire on-line measuring |
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| ZHANG Xiao mian ,ZHAO Zhi chao. Ellipsometry design and data analysis of the monitoring system of thin wire on-line measuring[J]. Journal of Central South University:Science and Technology, 2001, 32(6): 640-643 |
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| Authors: | ZHANG Xiao mian ZHAO Zhi chao |
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| Affiliation: | ZHANG Xiao mian 1,ZHAO Zhi chao 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | on line monitoring data collection ellipsometry analysis polarized direction diffraction graphics digital filtering |
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