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5μm封闭硅栅高速CMOS电路
引用本文:张利春,倪学文,沈悌明,阎桂珍,张录,吉力久,冯初光,张蔷.5μm封闭硅栅高速CMOS电路[J].北京大学学报(自然科学版),1985(5).
作者姓名:张利春  倪学文  沈悌明  阎桂珍  张录  吉力久  冯初光  张蔷
作者单位:北京大学计算机科学技术系 (张利春,倪学文,沈悌明,阎桂珍,张录,吉力久),北京半导体器件五厂 (冯初光),北京半导体器件五厂(张蔷)
摘    要:本文报导了沟道长度为5μm的高速硅栅CMOS电路,门电路平均延迟时间为10nS,触发器最高工作频率为30—40MHz。文中给出了CAD模拟计算结果和工艺措施,对高速CMOS电路作了初步研究。

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