高精度高压稳压电源的研制

本文介绍了ＳＤＳ－２型电子束曝光机研制的３０ｋＶ高精度高压稳压电源。该电源采用双闭环调整，集中补偿与分散补偿相结合对关键采取了有力措施，使各项技术指标均达到高精度要求。