利用现代光声光谱技术进行高灵敏度痕量气体分析

研究了一种应用于光声光谱技术的极其灵敏的微压探测方法。一种二氧化硅悬臂梁替代原来的电容式声传感器,利用紧凑的迈克尔逊激光干涉仪来测量此二氧化硅悬臂梁的位移。对光声光谱测量技术进行了较大的改善。例如:采用黑体辐射作为光源,采用传统式光声光谱测试装置并使其工作在非共振模式下,甲烷气体测量灵敏度达到亚ppb量级。利用分布反馈式半导体激光器作为光源的新的光声光谱仪测量CO2的浓度。其灵敏度达到4.6×10-9cm-1WHz-1/2。此外,我们还实现了一个将光声光谱法和长吸收程吸收谱法相结合的选择式差动方法。