| MEMS反射镜建模及其控制实验研究 |
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| 引用本文： | 宋镜明,阮玉,翟金会,匡丽娟.MEMS反射镜建模及其控制实验研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2005,33(11):36-38. |
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| 作者姓名： | 宋镜明 阮玉 翟金会 匡丽娟 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（60407002）. |
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| 摘 要： | 从经典二阶振荡系统的传递函数入手,根据MEMS反射镜的开环瞬态响应实验,对模型的参数进行辨识,考察了模型在静态状况下静电力和弹簧扭矩的关系.推导了阻尼系数和实验曲线之间的关系.这个关系对阻尼系数的辨识不需要考察微镜的尺寸和空气压力,从而可以减轻计算量并且保证了精度.最后,通过仿真和实验结果来验证参数辨识的正确性.在实验和仿真结果中,系统的超调量被大幅度减小,稳定时间可以控制在7 ms以内,验证了模型参数辨识的正确性.
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| 关 键 词： | 微致动器 宏模型 微机电系统 微反射镜 |
| 文章编号： | 1671-4512（2005）11-0036-03 |
| 收稿时间： | 2004-11-22 |
| 修稿时间： | 2004年11月22 |
Modeling of MEMS reflecting mirror and its control experimental research |
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| Song Jingming,Ruan Yu,Zhai Jinhui,Kuang Lijuan.Modeling of MEMS reflecting mirror and its control experimental research[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2005,33(11):36-38. |
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| Authors: | Song Jingming Ruan Yu Zhai Jinhui Kuang Lijuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro actuator macro model micro electronic mechanic system(MEMS) micro reflecting mirror |
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