| 基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源 |
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| 引用本文： | 廖斌,张少君,赵娜,朱守正. 基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源[J]. 上海交通大学学报, 2009, 43(3) |
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| 作者姓名： | 廖斌 张少君 赵娜 朱守正 |
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| 作者单位： | 华东师范大学,电子工程系,上海,200241 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
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| 关 键 词： | 微带环缝谐振器 小功率微波等离子体源 阻抗匹配 气体放电 S参数 |
Study on Low-Power Microwave Plasma Source Based on Microstrip Split-Ring Resonator |
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| LIAO Bin,ZHANG Shao-jun,ZHAO Na,ZHU Shou-zheng. Study on Low-Power Microwave Plasma Source Based on Microstrip Split-Ring Resonator[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 2009, 43(3) |
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| Authors: | LIAO Bin ZHANG Shao-jun ZHAO Na ZHU Shou-zheng |
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