| BST薄膜的制备工艺与太赫兹介电特性测试 |
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| 引用本文： | 董博文,马华,王军,娄菁,冯明德.BST薄膜的制备工艺与太赫兹介电特性测试[J].空军工程大学学报,2018,19(6):97-102. |
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| 作者姓名： | 董博文 马华 王军 娄菁 冯明德 |
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| 作者单位： | 空军工程大学基础部,西安,710051 |
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| 摘 要： | 经过多组对比实验,通过XRD、AFM、SEM等表征手段优化了BST薄膜的制备工艺。结合BST基薄膜器件的电极制备、微结构加工制备了太赫兹频段电可调的频率选择表面。通过太赫兹测试系统验证了在太赫兹频段BST薄膜的可调性,在电场作用下通带频率可以从0.85THz调节到0.87THz,结合仿真研究给出了确定铁电薄膜在THz频段介电参数的方法。相关研究可用于精确测定铁电薄膜在THz频段的介电特性,为铁电薄膜功能器件的研制提供精确的介电参数测试方法。
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡薄膜 太赫兹 介电特性 工艺参数 磁控溅射 |
Preparation Technology and Terahertz Test of BST Thin Film Devices |
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| DONG Bowen,MA Hu,WANG Jun,LOU Jing,FENG Mingde.Preparation Technology and Terahertz Test of BST Thin Film Devices[J].Journal of Air Force Engineering University(Natural Science Edition),2018,19(6):97-102. |
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| Authors: | DONG Bowen MA Hu WANG Jun LOU Jing FENG Mingde |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | barium strontium titanium thin film terahertz dielectric properties process parameters magnetron sputtering |
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