压电式微位移定位机构驱动电源的硬件设计

精密定位技术是精密制造、精密测量和精密驱动中的关键技术之一。压电陶瓷驱动的微位移器是近年来发展起来的新型微位移器,具有体积小、承载力大、精度高、分辨率高、效率高、刚度好、易于控制及伸长时无能量消耗等特点,在广泛的领域中得到应用。本文在分析压电陶瓷的工作机理及特性的基础上,针对其特性设计出一款压电陶瓷驱动电源。该电源以直流稳压电源为直流放大电路的高压电源,具有线性度好、纹波小、带负载能力强、频率响应高等特点,克服了传统驱动电源频率响应低、输出低电压时出现饱和失真等缺陷。