| 平面3-DOF电磁微动台设计及其解耦控制 |
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| 引用本文： | 李恒,朱煜,胡金春,张鸣,尹文生,杨开明.平面3-DOF电磁微动台设计及其解耦控制[J].科学技术与工程,2008,8(6):1427-1432. |
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| 作者姓名： | 李恒 朱煜 胡金春 张鸣 尹文生 杨开明 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
2. 清华大学,计算机科学与技术系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 针对精密运动应用领域,设计和制作了一种新型的平面三自由度电磁微动台,对此建立了动力学和控制模型.通过电磁力的分配实现控制系统的解耦,对解耦后的单入单出系统设计了双环PD控制器,并进行位置伺服控制实验,验证了解耦策略和控制算法的有效性.
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| 关 键 词： | 平面三自由度 电磁微动台 模型简化 解耦控制 微分先行 |
| 修稿时间： | 2007年12月18 |
Planar 3-DOF Magnetic Micro-motion Stage and its Decoupling Control |
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| LI Heng,ZHU Yu,HU Jing-chun,ZHANG Ming,YIN Wei-sheng,YANG Kai-ming.Planar 3-DOF Magnetic Micro-motion Stage and its Decoupling Control[J].Science Technology and Engineering,2008,8(6):1427-1432. |
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| Authors: | LI Heng ZHU Yu HU Jing-chun ZHANG Ming YIN Wei-sheng YANG Kai-ming |
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