| 低气压高频氩放电中电子能量分布的研究 |
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| 引用本文： | 王德真,郭宝海,马腾才. 低气压高频氩放电中电子能量分布的研究[J]. 大连理工大学学报, 1991, 0(4) |
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| 作者姓名： | 王德真 郭宝海 马腾才 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室(王德真，郭宝海)，大连理工大学三束材料改性国家重点实验室(马腾才) |
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| 摘 要： | 由数值求解均匀的波尔兹曼方程，计算出在高频均匀的电场下氩放电中电子的能 量分布。计算适合于从低电子密度到足够高电子密度的广大区域。电场与气体密度的 比值在范围 １０~(－１６)Ｖcm＜Ｅ／Ｎ＜１０~(－１５)Ｖcm2．研究了在不同频率的高频电场下,电 子－电子碰撞对电子能量分布的影响。
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| 关 键 词： | 高频放电 能量分布 波尔兹曼方程 麦克斯韦尔-波尔滋曼分布律 |
Electron energy distributions of high- frequency argon discharges at low pressure |
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| Wang Dezhen,Guo Baohai,Ma Tengcai. Electron energy distributions of high- frequency argon discharges at low pressure[J]. Journal of Dalian University of Technology, 1991, 0(4) |
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| Authors: | Wang Dezhen Guo Baohai Ma Tengcai |
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| Abstract: | The e1ectron energy distribution functions in argon under the action of an uniform high-frequency electric field are calculated by numerically solving the homogeneous Boltzmann equation. The calcu1ations cover the whole range of 1ow electron densities to sufficiently, high electron densities. Typical values of the ratios of the electric field to the gas density in this work are in the range of 10~(-16)Vcm2
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| Keywords: | high frequency discharge energy distribution Boltzmann equation Maxwell-BoltZmann distribution law |
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