| 关联式气体流量调节器设计的理论依据 |
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| 引用本文： | 叶超,宁兆元.关联式气体流量调节器设计的理论依据[J].苏州大学学报(医学版),1996,12(4):65-68. |
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| 作者姓名： | 叶超 宁兆元 |
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| 作者单位： | 苏州大学物理科学与技术学院
(叶超，宁兆元，沈明荣)，苏州大学物理科学与技术学院(汪浩) |
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| 摘 要： | 本文对关联式气体流量调节器的工作原理进行了分析,获得了气体流量与阀通径之间的函数关系,结果表明,此调节器的设计可以实现气体流量的梯度变化,为沉积梯度薄膜提供了可能。
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| 关 键 词： | 关联式流量调节 梯度薄膜 |
THE THEORETICAL BASIS OF RELATED GAS FLOW ADJUSTER |
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| Ye Chao Ning Zhaoyuan Shen Mingrong Wang Hao.THE THEORETICAL BASIS OF RELATED GAS FLOW ADJUSTER[J].Journal of Suzhou University(Natural Science),1996,12(4):65-68. |
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| Authors: | Ye Chao Ning Zhaoyuan Shen Mingrong Wang Hao |
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| Institution: | School of Physical Science and Technology |
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| Abstract: | In this paper,the working principle of the new related gas flow adjuster is discussed. The function relation of gas flow on valve hole area is achieved. The adjuster can achieve gas flowgradient change for depositing gradient thin film. |
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| Keywords: | related gas flow adjuster gradient thin film |
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