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| 电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究 | |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 空间环境与物质科学研究院,哈尔滨150001;哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院,哈尔滨150001;哈尔滨工业大学 空间环境与物质科学研究院,哈尔滨150001;黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080;浙江大学 航空航天学院,杭州310058;北京航天控制仪器研究所,北京100094;哈尔滨工业大学 空间环境与物质科学研究院,哈尔滨150001;黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 电容式加速度计 电子辐照 电压特性 |
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