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| 过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传… | |
| 作者姓名： | 王广甫 张荟星 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 |
| 摘 要： | 介绍了采用９０°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉成膜系统，对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究，实验观察到，弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高，过滤管道的传输效率越高，但聚焦磁场高过一定阈值时，会出现起弧不稳现象，此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关，过滤管道正偏压在４０￣６０Ｖ范围内，管道磁场在７￣１１ｍＴ时传输效率较高，偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高。 |
| 关 键 词： | 真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 传输特性 薄膜 |
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