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| 化学气相沉积金刚石膜的光学性质 | |
| 引用本文： | 张继华,李敬起,孙亦宁,郭晚土,高欣,雷青松,王曦,柳湘怀. 化学气相沉积金刚石膜的光学性质[J]. 兰州大学学报(自然科学版), 2003, 39(2): 35-38 |
| 作者姓名： | 张继华 李敬起 孙亦宁 郭晚土 高欣 雷青松 王曦 柳湘怀 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国空间技术研究院兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 2. 中国空间技术研究院兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| 基金项目： | 国家 973计划资助项目 ( G2 0 0 0 0 672 0 7-2 ) |
| 摘 要： | 多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关．采用一较为完备的金刚石透过率模型，研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质．并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响，计算结果与实测结果一致． |
| 关 键 词： | 金刚石膜 光学性质 化学气相沉积 透过率 表面粗糙度 吸收系数 |
| 文章编号： | 0455-2059(2003)02-0035-04 |
| 修稿时间： | 2002-02-26 |
Optical properties of HF-CVD diamond films |
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| ZH AN G Ji- hua,,L I Jing- qi,SUN Yi- ning,GUO Wan- tu,GAO Xin,LEI Qing- song,WANG Xi,LIU Xiang- huai. Optical properties of HF-CVD diamond films[J]. Journal of Lanzhou University(Natural Science), 2003, 39(2): 35-38 | |
| Authors: | ZH AN G Ji- hua L I Jing- qi SUN Yi- ning GUO Wan- tu GAO Xin LEI Qing- song WANG Xi LIU Xiang- huai |
| Affiliation: | ZH AN G Ji- hua1,2,L I Jing- qi2,SUN Yi- ning2,GUO Wan- tu2,GAO Xin2,LEI Qing- song2,WANG Xi1,LIU Xiang- huai1 |
| Abstract: | |
| Keywords: | diamond films infrared spectra optical properties |
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