用微波传输法测量半导体的复数介电常数

本文叙述了一种利用传输法测量半导体及其它固体材料的复数介电常数的方法。这种方法是用微波电桥测量出由于样品加入后相位和衰减的变化,从而计算出样品的复数介电常数。在计算中加入了修正,以考虑由于样品两端以及终端的反射而引起的测量误差。对锗,硅,碲等半导体材料进行了测量。同时亦测量了聚四氟乙烯,有机玻璃和石英等绝缘体材料的复数介电常数。与参考值进行了比较。对各向异性材料碲在300°K和100°K下,E∥c和E⊥c的复数介电常数进行了测量(c为晶体轴)。