| 前驱体溶液浓度对LaNiO3薄膜结构及导电性能的影响 |
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| 引用本文： | 魏凌,张婷,丁玲红,张伟风. 前驱体溶液浓度对LaNiO3薄膜结构及导电性能的影响[J]. 河南大学学报(自然科学版), 2006, 36(2): 25-28 |
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| 作者姓名： | 魏凌 张婷 丁玲红 张伟风 |
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| 作者单位： | 河南大学,物理与信息光电子学院,河南,开封,475001;河南大学,物理与信息光电子学院,河南,开封,475001;河南大学,物理与信息光电子学院,河南,开封,475001;河南大学,物理与信息光电子学院,河南,开封,475001 |
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| 基金项目： | 河南省高等学校创新人才培养工程项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶(sol-gel)法,使用浓度分别为0.1 M、0.2 M和0.3 M的前驱体溶液,在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3(LNO)导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响.X射线衍射测试表明,三种样品均为纯的钙钛矿相,具有较好的(110)择优取向.扫描电子显微镜截面分析显示,用0.2 M前驱体溶液制备的LNO薄膜样品厚度均匀,与Si衬底间没有明显扩散.采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率,当前驱体溶液浓度为0.2 M时,样品电阻率最小,仅为2.08×10-3Ω.cm,具有良好的导电性.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 前驱体溶液 浓度 LaNiO3 电阻率 |
| 文章编号： | 1003-4978（2006）02-0025-04 |
| 收稿时间： | 2005-11-16 |
| 修稿时间： | 2005-11-16 |
Effect of Precursor Concentration on the Structure and Conductivity of LaNiO3 Thin Films |
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| WEI Ling,ZHANG Ting,DING Ling-hong,ZHANG Wei-feng. Effect of Precursor Concentration on the Structure and Conductivity of LaNiO3 Thin Films[J]. Journal of Henan University(Natural Science), 2006, 36(2): 25-28 |
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| Authors: | WEI Ling ZHANG Ting DING Ling-hong ZHANG Wei-feng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel precursor concentration LaNiO_(3) resistivity |
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