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热波显微镜及其应用
作者姓名:殷庆瑞
作者单位:中国科学院上海硅酸盐研究所
摘    要:热波显微镜是一种比较先进的探微仪器,它能探测到一些其他光学、声学和电子显微镜所不能探测的秘密。它在材料科学、集成电路、光学薄膜、无损检测等方面有很大的应用前景。《热波显微镜及其应用》一文对此作了概述。

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