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| 等离子体源离子注入装置中离子到达靶表面的… | |
| 引用本文： | 王德真,马腾才.等离子体源离子注入装置中离子到达靶表面的…[J].自然科学进展,1995,5(1):71-77. |
| 作者姓名： | 王德真 马腾才 |
| 摘 要： | 等离子体源离子注入，是将待注入的靶直接浸入等离子体源中，靶上施加一系列负高压脉中，离子在变化的电场中获得能最后注入靶中，建立了离子的蒙特卡罗模拟模型，考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射，模拟了不同气压下氮离子到达靶表面的能量分布和入射角分布。 |
| 关 键 词： | 等离子体源 离子注入 金属材料 覆层 |
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