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| 金刚石车削单晶锗平面表面粗糙度扇形分布… | |
| 作者姓名： | 史国权 马文生 |
| 摘 要： | 建立了金刚石削单晶锗切削力的分布模型，研究了车削单晶锗平面时表面粗糙度呈现扇形区分布特征的成因机制，并进行实验验证，采用飞切方法加工单晶锗时，可以制得表面粗糙度Ｒａ值为０．００７～０．００９μｍ的匀质光滑表面。 |
| 关 键 词： | 单晶 锗 金刚石 表面粗糙度 扇形分布 车削 |
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