| VPS60型溅射离子泵电源电路剖析 |
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| 引用本文： | 杨忠孝,成友才,刘爽,宁永功. VPS60型溅射离子泵电源电路剖析[J]. 四川理工学院学报(自然科学版), 1999, 12(4): 67-71 |
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| 作者姓名： | 杨忠孝 成友才 刘爽 宁永功 |
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| 作者单位： | 1. 电子科技大学材料分析中心四川成都610054
2. 遂宁市安居职中四川遂宁629000 |
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| 摘 要： | 详尽地分析了ＶＰＳ６０型溅射离子泵电源电路的工作原理将原电路整理简化为电源供给及高压测量电路，泵电流及泵真空压力测量电路、保护系统及遥控电路三大部分。
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| 关 键 词： | VPS60型溅射离子泵 倍压整流 射极跟随器 对数放大器 跳闸 |
| 文章编号： | 1008-438(1999)04-0067-05 |
| 修稿时间： | 1999-06-15 |
Analysis of Power Circuits of Model VPS 60 Ion Pump |
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| YANG Zhong-xiao, CHENG You-cai, LIU Shuang: NING Yong-gong. Analysis of Power Circuits of Model VPS 60 Ion Pump[J]. Journal of Sichuan University of Science & Engineering(Natural Science Editton), 1999, 12(4): 67-71 |
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| Authors: | YANG Zhong-xiao CHENG You-cai LIU Shuang: NING Yong-gong |
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| Abstract: | The working principle of power supply circuits of Model VPS 60 Ion Pump isanalyzed.The original power circuits are simplified into circuits of power supply and high voltagemeasurement,circuits of pump current and vacuum presure measurement and circuits of protection andremotion. |
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| Keywords: | Model VPS 60 Ion Pump double voltage regulated current logarithm amplifier trip |
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