| 脉冲激光制备ZnO薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 魏显起,周邦安,满宝元.脉冲激光制备ZnO薄膜的结构和光学特性[J].菏泽学院学报,2006,28(5):49-51,80. |
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| 作者姓名： | 魏显起 周邦安 满宝元 |
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| 作者单位： | 1. 山东师范大学物理与电子科学学院,山东济南,250014
2. 潍坊教育电视台,山东潍坊,261000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;山东省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 通过脉冲激光沉积方法在1.3 Pa氧氛围,石英衬底上制备了ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)谱,原子力显微镜(AFM),光致发光谱(PL)表征了薄膜的结构和光学特性.XRD谱显示在生长温度500℃时获得了六方结构的单晶薄膜;AFM显示出随着温度的提升,晶粒提升,而表面粗糙度变小;PL谱显示出强烈的紫外发射和蓝光发射.随着温度的提升,薄膜的结构和光学特性得到显著提高.
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| 关 键 词： | PLD ZnO薄膜 晶体结构 表面形貌 光学特性 |
| 文章编号： | 1673-2103（2006）05-0049-03 |
| 收稿时间： | 2006-08-01 |
| 修稿时间： | 2006-08-01 |
The Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Prepared by Using Pulsed Laser Deposition |
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| WEI Xian-qi,ZHOU Bang-an,MAN Bao-yuan.The Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Prepared by Using Pulsed Laser Deposition[J].Journal of Heze University,2006,28(5):49-51,80. |
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| Authors: | WEI Xian-qi ZHOU Bang-an MAN Bao-yuan |
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| Institution: | 1. College of Physics and Electronics, Shandong Normal University, Jinan Shandong 250014, China; 2. Weifang Educational TV Station, Weifang Shandong 261000, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLD ZnO thin films crystal structure surface morphology optical properties |
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