| 低温等离子体放电的数值模型 |
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| 引用本文： | 胡庆,蒙林,鄢阳,高荣,袁家德.低温等离子体放电的数值模型[J].成都大学学报(自然科学版),2006,25(3):178-182. |
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| 作者姓名： | 胡庆 蒙林 鄢阳 高荣 袁家德 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054;成都大学,电子信息工程系,四川,成都,610106;电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重点实验室基金
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国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型,以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象,同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工业应用以及在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域的应用提供了研究方法.
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| 关 键 词： | 数值模型 低温等离子体放电 动力学模型 流体模型 蒙特卡罗模型(简称MC) 混和模型 |
| 文章编号： | 1004-5422（2006）03-0178-05 |
| 收稿时间： | 2006-05-22 |
| 修稿时间： | 2006-05-22 |
Numerical Modeling of Low-pressure Discharge in Plasma |
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| HU Qing,MENG Lin,YAN Yang,GAO Rong,YUAN Jiade.Numerical Modeling of Low-pressure Discharge in Plasma[J].Journal of Chengdu University (Natural Science),2006,25(3):178-182. |
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| Authors: | HU Qing MENG Lin YAN Yang GAO Rong YUAN Jiade |
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| Institution: | 1. School of Physics Electronics, UESTC, Chengdu 610054, China; 2. Department of Electronic Information Engineering, Chengdu University, Chengdu 610106, China |
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| Abstract: | The review of various kinds of numerical modeling of low-pressure plasma discharge helps us understand many unexplainable phenomena based on numerical modeling.Meanwhile,it also provides research methods of low-pressure plasma in industrial applications,such as plasma processing,gas laser and so on,and applications in micro-electronic,material preparation,environmental protection,aerospace industry and military,etc. |
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| Keywords: | numerical modeling low-pressure plasma discharge dynamics model fluid model Monte Carlo model(MC) hybrid model |
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