标准片质量对炉管污染的影响分析

本文主要就标准晶圆片质量对炉管污检结果的影响进行了各项试验研究。重点讨论了标准片材料电阻、氧化层厚度以及前处理清洗方式这三个方面。我们发现,标准片氧化层厚度的影响几乎没有,影响最大的是标准片的前处理清洗,通过优化该作业后,我们的标准片质量得到了很大的提高,污检通过率也增加了一倍。