| 用热解化学气相沉积方法合成金刚石膜 |
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| 引用本文： | 金曾孙,吕宪义,曲承林,皇甫萍,康翰卿,邹广田,赵永年.用热解化学气相沉积方法合成金刚石膜[J].吉林大学学报(理学版),1988(1). |
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| 作者姓名： | 金曾孙 吕宪义 曲承林 皇甫萍 康翰卿 邹广田 赵永年 |
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| 作者单位： | 吉林大学原子与分子物理研究所
(金曾孙，吕宪义，曲承林，皇甫萍，康翰卿)，原子与分子物理研究所
(邹广田)，原子与分子物理研究所(赵永年) |
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| 摘 要： | 众所周知,金刚石不仅是最好的超硬耐磨材料,而且也是一种理想的功能材料。 1976年苏联科学家Derjaguin等人用化学输运反应方法首次在非金刚石衬底上合成出金刚石膜,1981年Spitsyn等人对该金刚石膜的合成机理进行了探讨。由于低压法合成金刚石可以在大面积的各种衬底上沉积出粒状或膜状金刚石,因此它将为金刚石在电子工业,光学工业和空间技术等重要领域的广泛应用开拓了崭新的局面。
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| 关 键 词： | 热解化学气相沉积 金刚石薄膜 |
Synthesis of Diamond Films with Thermal Chemical Vapor Deposition Method |
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| Jin Zengsun,Lu Xianyi,Qu Chenglin,Huang Fuping,Kang Hanqing,Zou Gangtian and Zao Yongnian.Synthesis of Diamond Films with Thermal Chemical Vapor Deposition Method[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,1988(1). |
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| Authors: | Jin Zengsun Lu Xianyi Qu Chenglin Huang Fuping Kang Hanqing Zou Gangtian and Zao Yongnian |
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| Abstract: | Microcrystalline diamond films were synthesized at low pressure on silicon or quartz substrates by thermal chemical vapor deposition from a gaseous mixture of methane and hydrogen. |
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| Keywords: | thermal chemical vapor deposition diamond thin film |
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