硅单晶热稳定性研究期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

硅单晶热稳定性研究

作者姓名：	梁连科李志魁周子岚戴才旺

作者单位：	东北工学院有色系半导体材料教研室(梁连科，李志魁，周子岚)，东北工学院有色系半导体材料教研室(戴才旺)

摘要：	本文对N型(111)高阻、P型(111)和N型(100)低阻硅单晶,进行了热处理实验,研究了氧含量和热处理温度对无位错硅单晶的电阻率、寿命和红外吸收特性的影响,确定了影响电阻率稳定性的氧含量值。
本文献已被 CNKI 等数据库收录！