|
|||||
|
|
| 硅单晶热稳定性研究 | |
| 引用本文： | 梁连科,李志魁,周子岚,戴才旺.硅单晶热稳定性研究[J].东北大学学报(自然科学版),1979(2). |
| 作者姓名： | 梁连科 李志魁 周子岚 戴才旺 |
| 作者单位： | 东北工学院有色系半导体材料教研室 (梁连科，李志魁，周子岚)，东北工学院有色系半导体材料教研室(戴才旺) |
| 摘 要： | 本文对N型(111)高阻、P型(111)和N型(100)低阻硅单晶,进行了热处理实验,研究了氧含量和热处理温度对无位错硅单晶的电阻率、寿命和红外吸收特性的影响,确定了影响电阻率稳定性的氧含量值。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |