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我校成立微纳加工和器件公共实验室
摘    要:经校长办公会议最终审议通过,决定成立复旦大学微纳加工和器件公共实验室。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位,但加工、配套器件工艺设备投入和运行成本较大。我国长期以来在先进科研设备方面投入偏少、分散,

关 键 词:公共实验室  微纳加工  器件工艺  高科技领域  复旦大学  纳米科技  运行成本  设备投入
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