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我校成立微纳加工和器件公共实验室
摘 要:
经校长办公会议最终审议通过,决定成立复旦大学微纳加工和器件公共实验室。实验室由物理系系主任沈健教授牵头,物理系和微电子系共同参与建设和运转。纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位,但加工、配套器件工艺设备投入和运行成本较大。我国长期以来在先进科研设备方面投入偏少、分散,
关 键 词:
公共实验室
微纳加工
器件工艺
高科技领域
复旦大学
纳米科技
运行成本
设备投入
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