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| 微细加工光学技术的发展 | |
| 引用本文： | 姚汉民,冯伯儒.微细加工光学技术的发展[J].世界科技研究与发展,1997,19(1):72-73. |
| 作者姓名： | 姚汉民 冯伯儒 |
| 摘 要： | 本文简要介绍了微细加工光学技术的发展 和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。 |
| 关 键 词： | 发展目标 研究方向 微细光刻技术 微电子技术 微细加工光学技术 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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