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微细加工光学技术的发展
作者姓名:姚汉民 冯伯儒
摘    要:本文简要介绍了微细加工光学技术的发展 和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。

关 键 词:发展目标 研究方向 微细光刻技术 微电子技术 微细加工光学技术
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