| 单晶硅(001)衬底材料中非经典衍射的研究 |
| |
| 引用本文： | 李卫,傅建华.单晶硅(001)衬底材料中非经典衍射的研究[J].四川大学学报(自然科学版),2002,39(4):671-674. |
| |
| 作者姓名： | 李卫 傅建华 |
| |
| 作者单位： | 1. 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064
2. 杭州市江干区可靠性仪器厂,杭州,310017 |
| |
| 摘 要： | 在经典衍射理论中，不产生Si(200)反射。对此，作者通过理论和实验进行了证实。由于Si晶体中电子云分布的非对称性，会出现Si(200)衍射峰。论述了Si(200）衍射在实际工作中的应用。
|
| 关 键 词： | 单晶硅（001） 非经典衍射 硅基材料 Si（200）衍射 非对称电子云分布 非谐性 单晶硅衬底材料 |
| 文章编号： | 0490-6756(2002)04-0671-04 |
Investigation into the Forbidden Reflection from the Single Crystal (001) Silicon Substrate |
| |
| LI Wei ,FU Jian hua.Investigation into the Forbidden Reflection from the Single Crystal (001) Silicon Substrate[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2002,39(4):671-674. |
| |
| Authors: | LI Wei FU Jian hua |
| |
| Institution: | LI Wei 1,FU Jian hua 2 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Si based materials Si(200) reflection antisymmetric charge density anharmonity |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
