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聚酰亚胺膜的反应离子刻蚀工艺研究

引用本文：	孙承龙.聚酰亚胺膜的反应离子刻蚀工艺研究[J].科技通讯(上海),1992(1):53-57.

作者姓名：	孙承龙

摘要：
关键词：	反应离子刻蚀聚酰亚胺侧墙
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