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离子速增强沉积薄膜合成及其在材料表面优...

引用本文：	柳襄怀,邹世昌.离子速增强沉积薄膜合成及其在材料表面优...[J].科技通讯(上海),1992(3):1-7,14.

作者姓名：	柳襄怀邹世昌

摘要：
关键词：	材料表面改性 IBED 薄膜合成
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