| PERKIN-ELMER 340光刻机的匹配研究 |
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| 引用本文： | 吴春瑜,黄路秋,陈东石,王卫民. PERKIN-ELMER 340光刻机的匹配研究[J]. 辽宁大学学报(自然科学版), 2005, 32(4): 348-349 |
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| 作者姓名： | 吴春瑜 黄路秋 陈东石 王卫民 |
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| 作者单位： | 辽宁大学,物理系,辽宁,沈阳,110036;中国电子科技集团第四十七研究所,辽宁,沈阳,110032 |
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| 基金项目： | 辽宁省科技厅自然科学基金（002021）,辽宁省教育厅自然科学基金（20021076） |
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| 摘 要： | 叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨,最后给出了试验数据。
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| 关 键 词： | 扫描畸变 交叉畸变 匹配 |
| 文章编号： | 1000-5846（2005）04-0348-02 |
| 收稿时间： | 2004-11-04 |
| 修稿时间： | 2004-11-04 |
The Study on the Match of Micro Align Models 340 |
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| WU Chun-yu,HUANG Lu-qiu,CHEN Dong-shi,WANG Wei-min. The Study on the Match of Micro Align Models 340[J]. Journal of Liaoning University(Natural Sciences Edition), 2005, 32(4): 348-349 |
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| Authors: | WU Chun-yu HUANG Lu-qiu CHEN Dong-shi WANG Wei-min |
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| Affiliation: | 1. Physics Department, Liaoning University, Shenyang 110036, China ; 2. The 47th Research Institute of Electronic Science Technology of China, Shenyang 110032, China |
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| Abstract: | This article introduces the reason why there's existing the distortions of the micro align models and explains what is cross distortion and scan distortion 340 and how to match the different "340". |
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| Keywords: | scan distortion cross distortion match. |
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