类金刚石薄膜结构的研究

利用激光Raman光谱和X射线衍射结构分析方法,对类金刚石薄膜结构中的SP~1、SP~2和SP~3三种成键组态进行了较详尽的研究,指明了出现的结构异常现象,并分析和讨论了影响类金刚石薄膜结构的主要因素。