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| 硅功率器件的电子辐照效应及其机理 | |
| 作者姓名： | 钱思敏 王炳林 王培德 刘安东 黄耀先 张传汉 朱悟新 张厥宗 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京椿树整流器厂，北京椿树整流器厂，有色金属研究总院，有色金属研究总院 |
| 摘 要： | 电子辐照硅功率器件是七十年代初发展起来的新工艺,它利用加速器产生高能电子流辐照硅功率器件,使硅材料晶格中的点阵原予发生位移,造成简单的品格空位和间隙原子。这些空位和问隙原子要和硅中的其它杂质、空位相互作用,组成缺陷络合物,形成了深能级的复合中心,如氧宅位对、磷空位对、双空位对等,以控制少子寿命.为了克服目 |
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