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| SiC及其离子束技术在SiC研究中的应用 | |
| 引用本文： | 阳生红.SiC及其离子束技术在SiC研究中的应用[J].中山大学研究生学刊(自然科学与医学版),2000,21(1):8-12. |
| 作者姓名： | 阳生红 |
| 摘 要： | 本文阐述了宽禁带半导体材料SiC的晶体结构，材料特性及制备方法。同时综述了离子束技术在SiC研究中的应用。其中包括SiC的离子束合成，掺杂，器件隔离与钝化。 |
| 关 键 词： | SiC 晶体结构 离子束技术 宽禁带导体材料 碳化硅 离子束合成 掺杂 |
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