| 应用Ti掺杂提高VO2薄膜太阳光红外能量调制能力 |
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| 引用本文： | 曾蓝萱,李慧,戚家华,刘毅,叶凡,蔡兴民,范平,张东平.应用Ti掺杂提高VO2薄膜太阳光红外能量调制能力[J].安庆师范学院学报(自然科学版),2022,28(1):35-42. |
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| 作者姓名： | 曾蓝萱 李慧 戚家华 刘毅 叶凡 蔡兴民 范平 张东平 |
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| 作者单位： | 深圳大学物理与光电工程学院,深圳市先进薄膜与应用重点实验室,广东深圳518060 |
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| 摘 要： | 二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景。该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO_2薄膜不同量的Ti掺杂。并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计与四探针测量系统对样品微结构及相变特性进行表征,分析不同Ti掺杂量对VO_2薄膜微结构、表面形貌、相变温度、红外调制率的影响。研究结果表明,在Ti靶15 mA放电电流下掺杂的样品,太阳能调制能力有明显提高,达13.8%,但是过高的Ti掺杂则会使VO_2薄膜相变性能弱化甚至消失。
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| 关 键 词： | 二氧化钒 Ti掺杂 相变 红外调制率 |
Enhanced Solar IR Energy Modulation Capability of VO2Thin Films by Employing Ti-doping |
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| ZENG Lanxuan,LI Hui,QI Jiahua,LIU Yi,YE Fan,CAI Xingmin,FAN Ping,ZHANG Dongping.Enhanced Solar IR Energy Modulation Capability of VO2Thin Films by Employing Ti-doping[J].Journal of Anqing Teachers College(Natural Science Edition),2022,28(1):35-42. |
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| Authors: | ZENG Lanxuan LI Hui QI Jiahua LIU Yi YE Fan CAI Xingmin FAN Ping ZHANG Dongping |
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