| 镁钇合掺氧化锌薄膜的制备及其性能研究 |
| |
| 引用本文： | 钟志有,康淮,龙浩. 镁钇合掺氧化锌薄膜的制备及其性能研究[J]. 中南民族大学学报(自然科学版), 2018, 0(1): 66-72 |
| |
| 作者姓名： | 钟志有 康淮 龙浩 |
| |
| 作者单位： | 中南民族大学电子信息工程学院;中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室; |
| |
| 摘 要： | 以镁钇掺杂的氧化锌(Zn O)陶瓷靶作为溅射靶材,采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了镁钇合掺Zn O(MYZO)薄膜样品.通过X射线衍射仪和分光光度计的测试表征,研究了薄膜厚度对MYZO样品结构性质和光学性能的影响.结果表明:MYZO样品均为六角纤锌矿型的多晶结构,并且其择优取向生长特性明显受到薄膜厚度的影响,当薄膜厚度为290 nm时,MYZO样品具有(002)择优取向生长特性.另外通过光学表征方法获得了MYZO样品的光学能隙、折射率和消光系数,结果显示:MYZO样品的光学能隙大于未掺杂Zn O能隙,其折射率均表现为正常色散特性,并且遵循Wemple-Di Domenico单振子色散模型.
|
| 关 键 词： | 磁控溅射 掺杂氧化锌 薄膜 光学性质 |
Preparation and Properties of Magnesium and Yttrium Doped Zinc Oxide Thin Films |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
