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| 磷硅玻璃钝化工艺的探讨 | |
| 引用本文： | 王君平,李亚南,张聪.磷硅玻璃钝化工艺的探讨[J].科技信息,2009(3):26-26. |
| 作者姓名： | 王君平 李亚南 张聪 |
| 作者单位： | 济南市半导体元件实验所; |
| 摘 要： | 本文讨论了PSG钝化膜的结构特点，分析了PSG具有钝化作用的原因；并把PSG与SiO2进行比较，证明了PSG的优越性。介绍了三种PSG制造工艺，并比较了各自的优缺点，指出各工艺所适合的产品。对于想了解PSG钝化工艺的人们有一定的帮助。 |
| 关 键 词： | 磷硅玻璃 钝化膜 合金 淀积 |
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