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| 中频磁控溅射法制备氧化锌钇薄膜及其性能研究(英文) | |
| 作者单位： | 清华大学机械工程系 北京100084 |
| 摘 要： | 利用中频磁控溅射法,溅射氧化锌钇(ZYO)陶瓷靶材,在玻璃基底上制备ZYO透明导电薄膜。研究了氧化钇掺杂量和基底温度对薄膜的结构、电学性能和光学性能的影响。结果表明,ZYO薄膜为钎锌矿型结构,呈c轴择优取向,平均可见光透过率(400～800nm)达到80%以上。制备的ZYO薄膜具有的最低电阻率为1.18×10-3Ωcm。 |
| 关 键 词： | ZYO 磁控溅射 透明导电薄膜 透过率 电阻率 |
Study on the Preparation of ZYO Thin Films by Middle Frequency Alternative Magnetron Sputtering and Their Properties |
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| Authors: | SUN Ruo-nan ZHUANG Da-ming ZHANG Gong |
| Abstract: | |
| Keywords: | ZYO magnetron sputtering transparent conductive film transmittance resistivity |
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