| 温度和He累积损伤对Er2O3薄膜相结构及结晶度的影响 |
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| 引用本文： | 石云龙,劳远侠,王玲,张海斌,邓爱红,汪渊. 温度和He累积损伤对Er2O3薄膜相结构及结晶度的影响[J]. 四川大学学报(自然科学版), 2016, 53(6): 1340-1344 |
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| 作者姓名： | 石云龙 劳远侠 王玲 张海斌 邓爱红 汪渊 |
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| 作者单位： | 四川大学,四川大学原子核科学与技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,四川大学原子核科学与技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川大学物理科学与技术学院,四川大学原子核科学与技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,国家国际科技合作专项,四川省科技支撑计划 |
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| 摘 要： | 采用反应磁控溅射法制备Er_2O_3薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD),场发射扫描电子显微镜(SEM)对含He的Er_2O_3薄膜的结晶情况、截面和表面形貌进行表征,结果表明:无He的Er_2O_3薄膜在500℃退火时相结构基本保持稳定,在700℃退火时Er_2O_3薄膜发生明显的单斜相向立方相的转变.而含He的Er_2O_3薄膜的结晶度可能与He的存在形式有关.掺氦量较小时,未形成He泡,由于He的引入Er_2O_3薄膜的结晶度下降;随着掺氦量增加,He泡形成带来很高的内压,而在高压下Er_2O_3单斜相更易保持稳定.
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| 关 键 词： | Er2O3薄膜，相稳定，He损伤 |
| 收稿时间： | 2016-03-12 |
| 修稿时间： | 2016-04-12 |
Effect of temperature and He cumulative damage on Er2O3 film phase structure and crystallinity |
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| SHI Yun-Long,LAO Yuan-Xi,WANG Ling,ZHANG Hai-Bing,DENG Ai-Hong and WANG Yuan. Effect of temperature and He cumulative damage on Er2O3 film phase structure and crystallinity[J]. Journal of Sichuan University (Natural Science Edition), 2016, 53(6): 1340-1344 |
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| Authors: | SHI Yun-Long LAO Yuan-Xi WANG Ling ZHANG Hai-Bing DENG Ai-Hong WANG Yuan |
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| Affiliation: | Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education, Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University,Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education, Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University,Institute of Nuclear Physics and Chemistry,CAEP,Department of Physics, Sichuan University,Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education, Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Er2O3 film phase stable He damage |
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