制备PZT薄膜的Sol-Gel工艺研究 |
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引用本文: | 于军周文利,曹广军,谢基凡.制备PZT薄膜的Sol-Gel工艺研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),1996(4). |
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作者姓名: | 于军周文利 曹广军 谢基凡 |
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基金项目: | 国家863高科技计划资助 |
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摘 要: | 比较了SolGel工艺制备PZT薄膜的两种热处理过程成膜情况和对PZT/Si结构的影响,其中,低温烘烤、快速升温、高温退火的热处理方式有利于钙钛矿相成相.但是PZT薄膜完成全过程退火后难以进行图形加工.对含有SiO2的Si衬底上的情况分析表明SiO2有改善界面特性的作用
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关 键 词: | SolGel工艺 钙钛矿相 热处理 图形加工 |
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