| 液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用 |
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| 引用本文： | 刘赵淼,刘华敏,张谭.液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用[J].科技导报(北京),2008,26(13). |
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| 作者姓名： | 刘赵淼 刘华敏 张谭 |
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| 作者单位： | 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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北京市留学回国人员科技活动项目 |
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| 摘 要： | 研究液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用,并着重分析电极材料在预成型基底表面的沉积扩散情况。通过数值模拟,分析隔断材料、液滴与隔断间距、液滴碰撞速度3个因素对沉积的影响。结果发现,只有当这3个要素配置合理时,才能保证液滴的正常沉积,从而保证晶体管的质量。例如,当隔断材料采用聚酰亚胺,沟道宽度为5μm,液滴与隔断间距为30μm,液滴碰撞速度为4m/s时,液滴能够正常沉积,晶体管的质量得到保证。本文结果可为TFTs的制作提供一定的参考。
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| 关 键 词： | 液滴喷射 晶体管 薄膜沉积 数值模拟 |
Application of Inkjet Printing on Preparation of All Polymer Thin Film Transistors |
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| LIU Zhaomiao,LIU Huamin,ZHANG Tan.Application of Inkjet Printing on Preparation of All Polymer Thin Film Transistors[J].Science & Technology Review,2008,26(13). |
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| Authors: | LIU Zhaomiao LIU Huamin ZHANG Tan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | droplet ejection transistor film deposition numerical simulation |
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