| LSAWs技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法 |
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| 引用本文： | 肖夏,刘亚亮,付绍晨,单兴锰.LSAWs技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2010,43(10). |
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| 作者姓名： | 肖夏 刘亚亮 付绍晨 单兴锰 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，新世纪优秀人才计划基金资助项目 |
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| 摘 要： | 激光激发超声表面波法(LSAWs)是一种无损检测技术,其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频散.在检测超薄low-k薄膜材料机械特性时,LSAWs方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优势.对大量的实验数据进行了细致分析,得到了频率低于200 MHz的表面波频散曲线的特殊规律,并在此基础上建立了一种基于二分法的快速查找算法,实现了理论与实验频散曲线的快速匹配.超声表面波技术对超薄low-k膜层材料的弹性模量进行在线检测时,采用快速匹配算法可以显著提高检测速度.
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| 关 键 词： | 超声表面波 无损检测 快速匹配算法 超薄膜层材料 机械特性 |
Fast Matching Algorithm of Mechanical Property Determination for Ultra-Thin Low-k Film by LSAWs |
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| XIAO Xia,LIU Ya-liang,FU Shao-chen,SHAN Xing-meng.Fast Matching Algorithm of Mechanical Property Determination for Ultra-Thin Low-k Film by LSAWs[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2010,43(10). |
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| Authors: | XIAO Xia LIU Ya-liang FU Shao-chen SHAN Xing-meng |
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