成果角 |
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摘 要: | 浙江省2002年科技成果成果名称:高精度位置敏感探测器(PSD)与微型彩色CMOS的应用开发省内第一完成单位:浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心省内第一完成人:陈钰清内容简介:位置敏感探测器(PSD)是一种光电子器件,它能测量入射光斑或粒子位置坐标,具有分辨率高、响应速度快、信号处理电路简单等优点,适用于位置、距离、位移、角度等其它物理量的精密测量。现已能批量生产梳状结构一维PSD(1mm×8mm)和四边形结构二维PSD(3mm×3mm),年产2万个器件。微型彩色CMOS中应用的光学低通滤波器(OLPF)能有效抑制高手CMOS…
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