| 基于透射光谱确定硅碳氧薄膜的光学常数 |
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| 引用本文： | 张平,李晨,陈焘,王多书.基于透射光谱确定硅碳氧薄膜的光学常数[J].上海理工大学学报,2013,34(2). |
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| 作者姓名： | 张平 李晨 陈焘 王多书 |
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| 作者单位： | 台州学院 物理与电子工程学院,浙江 台州318000;兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州730000;兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州730000;兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州730000 |
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| 摘 要： | 硅碳氧薄膜是一种含有Si、C和O三种元素的玻璃状化合物材料,同时拥有碳化硅薄膜及氧化硅薄膜多种优异的特性,如热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高和热导率高等,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜.基于硅碳氧薄膜的紫外/可见/近红外透射光谱,采用Swanepoel极值包络线法,结合WDD色散模型,建立了一套精确、方便并适合于计算硅碳氧薄膜光学常数的方法.方便地获得了硅碳氧薄膜折射率、厚度等光学常数.并将厚度计算结果与实际测量值进行了比较.结果表明,试验中研究硅碳氧薄膜光学常数所采用的方法是合理的,能够准确地获得硅碳氧薄膜的折射率及厚度等光学常数.
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| 关 键 词： | 透射光谱 硅碳氧薄膜 光学常数 |
Determination of the Optical Properties of Silicon Oxycarbide Thin Films from Transmission Spectra |
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| ZHANG Ping,LI Chen,CHEN Tao and WANG Duoshu.Determination of the Optical Properties of Silicon Oxycarbide Thin Films from Transmission Spectra[J].Journal of University of Shanghai For Science and Technology,2013,34(2). |
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| Authors: | ZHANG Ping LI Chen CHEN Tao and WANG Duoshu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transmission spectra silicon oxycarbide films optical properties |
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