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A-Si∶H磷掺杂固相效率
引用本文:颜一凡.A-Si∶H磷掺杂固相效率[J].湖南大学学报(自然科学版),1997,24(1).
作者姓名:颜一凡
作者单位:湖南大学应用物理系
摘    要:证明了a-SiH磷掺杂固相效率η可表示成磷气相浓度的解析函数,其系数可由磷掺杂饱和极限、悬挂键密度和带尾态电子密度等的实验值决定

关 键 词:磷掺杂,固相效率,解析函数
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