| 一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究 |
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| 引用本文： | 朱目成. 一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究[J]. 西南科技大学学报, 2000, 0(3) |
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| 作者姓名： | 朱目成 |
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| 作者单位： | 西南科技大学机电及自动化系!四川绵阳621002 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金项目! (980 30 41 3) |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。
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| 关 键 词： | 传感器 加速度计 测试 灵敏度 |
STUDY ON A HIGH SENSITIVITY SILICON PERZORESISTANC ACCELEROMETER |
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| Zhu Mucheng. STUDY ON A HIGH SENSITIVITY SILICON PERZORESISTANC ACCELEROMETER[J]. Journal of Southwest University of Science and Technology, 2000, 0(3) |
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| Authors: | Zhu Mucheng |
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| Abstract: | A high sensitivity silicon peroresistanc accelerometer's working principle, structure, fabricating technology and testing method are worked out and some valuable conclusions in improving peroresistanc accelerometer's properties are also gained in this paper. |
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| Keywords: | Sensor Accelerometer Test Sensitivity |
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