| 计及边缘效应的非平行梳状驱动器的静电力计算 |
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| 引用本文： | 李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳.计及边缘效应的非平行梳状驱动器的静电力计算[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(8):1024-1026. |
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| 作者姓名： | 李勇 李玉和 李庆祥 訾艳阳 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 清华大学机械工程学院研究基金 |
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| 摘 要： | 为准确计算梳状驱动器的静电力,针对非平行静电梳状驱动方式以及实际静电致动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,进一步推导出忽略边缘效应的非平行静电梳状驱动器静电力计算式,并给出计及边缘效应的梳状驱动器以及非平行梳状驱动器静电力计算公式。采用有限元方法的三维仿真结果表明,对于不满足平行板电容器简化计算条件的模型,计及边缘效应的计算式具有更好的准确性。
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| 关 键 词： | 电学 边缘效应 梳状驱动器 静电力 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)08-1024-03 |
| 修稿时间： | 2002年10月22 |
Computation of electrostatic forces with edge effects for non-parallel comb-actuators |
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| LI Yong,LI Yuhe,LI Qingxiang,ZI Yanyang.Computation of electrostatic forces with edge effects for non-parallel comb-actuators[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(8):1024-1026. |
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| Authors: | LI Yong LI Yuhe LI Qingxiang ZI Yanyang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electricity edge-effect comb-drive electrostatic force |
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