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| 复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响 | |
| 作者姓名： | 王晓冬 张磊 巴德纯 陶继忠 |
| 作者单位： | (1. 东北大学 机械工程与自动化学院, 辽宁 沈阳110819; 2. 中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所, 四川 绵阳621900) |
| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429). |
| 摘 要： | 建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,存在最优螺旋槽深,使牵引级的压缩比达到最大;螺旋升角对最优螺旋槽深影响较小;最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小,随转子转速的增加而增加;当被抽气体为黏滞流时,最优槽深值更小. |
| 关 键 词： | 复合分子泵 牵引级 理论模型 压缩比 最优槽深 |
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